高性能芯片制程中的极紫外光刻双工件台，是先进集成电路装备中的重要核心设备，其加工精度决定了芯片的集成度与性能。超精密二维大行程平面定位磁浮平台，作为该设备系统中最重要的部件，是功能与精度实现的基础。

这种尖端应用对大规格磁钢的超高尺寸精度、高磁性能、耐蚀镀层、零缺陷外观等各方面，提出了超越传统工艺水准的严苛要求，使磁钢的精密加工、制造与检验成为极具挑战性的任务。

我们深入掌握此类半导体精密磁钢的特殊要求，已实现批量稳定交付，并可从咨询设计、快速供样到批量生产，提供全流程定制化服务。