磁钢是磁控溅射组件的关键零部件,磁钢的磁路排布与磁场一致性直接影响最终的溅射效果。由于工作过程电子辉光放电发热,磁钢还需要具备一定的耐温性能。
磁控溅射组件的机加工件一般为底座、极靴、罩壳、连接件等部分,材质为低碳钢、不锈钢、铜、铝、尼龙等,水冷环境条件下,铁质部件还需做电镀防护处理。
密封件起着密闭组件腔体,防止漏气漏水的重要作用。我们通常选用进口优质工业用密封圈,可长期稳定使用。
紧固件为各类型螺丝螺母、定位销、垫片、挡圈等,根据装配需要会作表面硬化处理。
按照标准作业流程,将各个零部件组装成为整体,之后根据使用工况要求,进行外观、表面磁场、氦检、水压、绝缘等多种检测。
我们可按照客户对磁控溅射组件产品的要求,从咨询,设计,打样到批量生产,提供全流程定制化服务。